招標公告

深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金，出資比例共為100%。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受淮海工業(yè)集團 （招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機

1.2 招標編號：0779-24400724A005

1.3設備技術要求：

1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕；

3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

5)硅-玻璃鍵合片(硅結(jié)構有背腔)，在暴露面積≥30%時，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現(xiàn)象;

6)工控系統(tǒng)基于 Windows7 及以下版本的操作系統(tǒng)；

7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm。

1.4 數(shù)量：1臺

1.5 交貨期：合同簽訂后12個月內(nèi)

1.6 項目現(xiàn)場：山西省長治市潞州區(qū)淮海工業(yè)集團 。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商應獲得制造商的有效授權，須提供正本（制造商的有效授權書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關境內(nèi)的獨資公司開具的；或經(jīng)制造商授權并允許其再授權的單位開具的）。

2.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標

4.

未在中國電力招標采購網(wǎng)（www.tjlongheng.cn）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區(qū)根據(jù)招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網(wǎng)
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術服務費后，查看項目業(yè)主，招標公告并下載資格預審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區(qū)招標信息詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。
編輯：365trade