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8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)之多晶硅、硅刻蝕機(jī)國(guó)際招標(biāo)(2)

   2025-05-16 0
核心提示:蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及
蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo),于2025-05-15在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱(chēng):多晶硅、硅刻蝕機(jī)
數(shù)量:1臺(tái)
設(shè)備原理及用途:
基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應(yīng)生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時(shí)有側(cè)壁淀積作用,防止側(cè)腐,生成物被抽出腔體,最終達(dá)到刻蝕的目的。
用途:本設(shè)備為全新設(shè)備,主要用于8英寸MEMS器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導(dǎo)線(xiàn)、硅晶圓標(biāo)記和硅淺槽的刻蝕工藝。
資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0664-2540SUMECA83/03
招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng):8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)之多晶硅、硅刻蝕機(jī)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
序號(hào) 產(chǎn)品名稱(chēng) 數(shù)量 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格備注
1 多晶硅、硅刻蝕機(jī) 1 該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng),全自動(dòng)傳輸系統(tǒng),1個(gè)刻蝕工藝腔,尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng),氣路系統(tǒng),制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設(shè)備按照滿(mǎn)配來(lái)配置相關(guān)氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等,便于未來(lái)增加工藝腔體(設(shè)備主體需要至少保留增加2個(gè)工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等)。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章無(wú)

3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè),提供企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書(shū),如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。
②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書(shū)。
③投標(biāo)人開(kāi)戶(hù)行開(kāi)具的,出具日期在開(kāi)標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。
④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力(提供相關(guān)證明材料或承諾書(shū),承諾書(shū)格式自擬)。
⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書(shū)原件。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開(kāi)始時(shí)間:2025-05-15
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:2025-05-22
是否在線(xiàn)售賣(mài)標(biāo)書(shū):否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn):蘇美達(dá)大廈9樓西側(cè)(南京長(zhǎng)江路198號(hào))
招標(biāo)文件售價(jià):¥2000/$275
其他說(shuō)明:每天9:00—11:30,14:00—17:30(北京時(shí)間,節(jié)假日除外)不購(gòu)買(mǎi)招標(biāo)文件的不得參加投標(biāo)。聯(lián)系人郵箱:zhoucui@sumec.com.cn。
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間(開(kāi)標(biāo)時(shí)間):2025-06-05 09:30
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):安徽省蚌埠市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)東海大道888號(hào)中國(guó)傳感谷A區(qū)L型綜合配套樓5層
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):安徽省蚌埠市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)東海大道888號(hào)中國(guó)傳感谷A區(qū)L型綜合配套樓5層
6、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)東海大道888號(hào)中國(guó)傳感谷A區(qū)L型綜合配套樓5層
聯(lián)系人:何一
聯(lián)系方式:18851776509
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易有限公司
地址:南京長(zhǎng)江路198號(hào)11樓
聯(lián)系人:江岳峰/朱志云/周 翠
聯(lián)系方式:18551719296、025-84531056
7、匯款方式:
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶(hù)銀行(人民幣):
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶(hù)銀行(美元):
賬號(hào)(人民幣):
賬號(hào)(美元):

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